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大族激光
大族激光近期在接受调研时表示，公司已经具备电池段管式真空类主设备研发制造能力。在TOPCON领域产品布局完整，逐步具备TOPCON电池全产业链设备研发制造能力；在HJT电池已布局PECVD、PVD等设备产品。现有研发项目包括低压硼扩散炉、Topcon激光掺硼设备、LPCVD设备等，低压硼扩散炉、Topcon激光掺硼设备处于客户验证阶段。
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