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ASML 取得感测对准标记的设备和方法专利
国家知识产权局信息显示，ASML 控股股份有限公司取得一项名为“感测对准标记的设备和方法”的专利，授权公告号 CN 114585972 B，申请日期为 2020 年 9 月。
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