氟化工巨头再添万吨级扩产项目 中国电子级氟材料有望走向全球

　　获悉，第三届半导体湿电子化学品与电子气体论坛日前在海南三亚举办，多氟多(002407.SZ)相关人士在会上透露，公司高端产品G5级电子级氢氟酸通过晶圆制造全球巨头验证后，将在今年下半年正式投产万吨级扩产项目。业内人士透露，目前全球市面上最高的电子化学品等级是G5级。而晶圆制造领域，只能用G5级产品，中国电子级氟材料有望走向全球。 电子级氢氟酸是高纯湿电子化学品当中的一种，主要用于清洁、去除氧化物，在半导体、太阳能光伏板和液晶面板制造过程当中被大量使用。电子级氢氟酸作为微电子行业制造的关键性基础化工材料之一，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器、半导体等微电子工业等方面，主要用于芯片的清洗和腐蚀，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。 目前，电子级氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域，其中第一大应用市场是集成电路领域，约占电子级氢氟酸总消耗量的47.3%；其次是太阳能光伏领域，占比22.1%；再次是液晶显示器领域，占18.3%。 在半导体制造过程中，电子级氢氟酸主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。资料显示，在半导体制程中，有50多个环节需要使用高纯度电子氟化氢，足见其重要性。不过，相对于其他领域的应用来说，半导体制造对于电子级氢氟酸的品质和纯度要求也更高。 根据国际半导体设备与材料组织(SEMI)成立的SEMI化学试剂标准委员会，对世界湿电子化学品的等级的标准划分来看，主要划分为SEMIG1至SEMIG5级。 在各应用领域的产品标准有所不同，光伏一般只需要G1级水平；显示面板和LED对湿电子化学品的等级要求一般为G2、G3水平；半导体制造对湿电子化学品的纯度要求较高，基本集中在G3以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12英寸晶圆制造一般要求G4以上，即G5级；分立器件对湿电子化学品纯度的要求低于芯片制造，基本集中在G2级。 据不完全统计，我国电子级氢氟酸生产厂家有11家左右，但是能够达到半导体所用G4级及以上的企业仅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、滨化股份、兴发集团四家左右。而能够供应12英寸晶圆使用需求的超净高纯电子级氢氟酸，即G5级别(UP-SSS)电子级氢氟酸的，目前似乎只有多氟多一家。 据多氟多董事长李世江介绍说，多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中，突破了工艺技术、分析检测技术、超净化处理技术、包装容器的清洗技术及标准化技术等关键技术，所生产的电子级氢氟酸品质达到UP-SSS级(G5级别)，产品纯度达到PPT级，是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别，能够满足目前最先进工艺制程对材料的要求，处于国际一流水平。 产能方面，目前全球电子级氢氟酸年产能约35万吨左右。其中国内电子级氢氟酸年产能24万吨，台湾地区电子级氢氟酸年产能3万吨左右，日本电子级氢氟酸年产能6万吨左右，欧美地区电子级氢氟酸年产能1.5万吨左右。 目前我国氟化工相关企业约1000家，氟化工基础及通用产品产量占全球的55%以上，现已成为世界最大的氟化工产品生产国及消费国。 近年来，随着中国微电子工业的高速发展，中国大陆逐步成为全球较大的液晶显示器(LCD)产业基地，用于集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，国内优势企业的竞争力正在不断增强，长期成长空间巨大。 相关 多氟多(002407.SZ)：目前在河南的电子级氢氟酸工厂年产能为5万吨(含IC级1万吨)。另外，在多氟多2021年定增11.5亿元募投项目中显示，多氟多正在建设年产3万吨超净高纯电子级氢氟酸、年产3万吨超净高纯湿电子化学品、100吨高纯乙硅烷、100吨高纯氟氮混合气、300吨高纯四氟化硅等项目。 三美股份(603379.SH)：目前公司生产氢氟酸的基地为3处，具体为浙江武义、福建清流、江苏如东，产能分别为3.1万吨、5万吨和5万吨。 兴发集团(600141.SH)：兴力公司主营产品包括电子级氢氟酸，目前在建3万吨/年电子级氢氟酸(G5等级)产能，其中一期1.5万吨/年产能预计21年3月投产，公司持有兴力公司30%股权。湖北瓮福主营产品为无水氟化氢，目前拥有2万吨/年产能。